سیستم‌های میکرو الکترو مکانیک

Authors

حمید غضنفر دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی مکانیک، دانشگاه فردوسی مشهد

مسعود طهانی استاد گروه مهندسی مکانیک، دانشکدة مهندسی، دانشگاه فردوسی مشهد

Abstract:

با رشد روزافزون فناوری‌های ساخت ابزار و سیستم‌ها در مقیاس نانو و میکرو، توجه محققان به‌سمت طراحی و ساخت حسگرها و عملگرهایی برای کنترل و پردازش رفتار این سیستم‌ها در مقیاس‌های کوچک جلب شده است. سیستم‌های میکرو‌ الکترو مکانیکی حاصل تلاش و تحقیق محققان در حوزه‌های مهندسی مکانیک، برق، شیمی و متالورژی در مسیر ساخت میکرو‌حسگرها و میکرو‌عملگر‌هاست. این سیستم‌ها - که آنها را به‌اختصار ممز[i] می‌نامند - تحولی شگرف در زمینة کنترل ابزار و سیستم‌های مکانیکی و الکتریکی و همچنین ارتباط بین این ابزار و مدارهای مجتمع را رقم زده‌اند. این سیستم‌ها با توجه به ساختار و عملکرد آنها سیستم‌هایی با فیزیک چندگانه به‌شمار می‌روند. جامع‌بودن و پیچیدگی‌های موجود به‌خاطر ترکیب چند زمینة مختلف فیزیکی در این ابزار‌ها تحلیل و بررسی آنها را دشوار کرده و امکان تحلیل و طراحی یک نمونة کامل با بررسی تمام جنبه‌های آن را غیر‌ممکن ساخته است. نیروهای الکترومغناطیسی به‌عنوان نیروی اعمالی، وجود نیروی میرایی ویسکوز و قوانین حاکم بر فشار یک سیال نیوتونی و غیرنیوتونی در فضای موجود بین صفحة متحرک و زمینه، وجود نیروهای الاستیک بازگرداننده، ارتعاش و جابه‌جایی تیر و همچنین تأثیر نیروهای بین‌مولکولی در حرکت این ابزارها سبب ترکیب‌ و کوپل‌شدن چندین زمینة انرژی در این سیستم‌ها خواهد شد. با توجه به ماهیت فیزیکی این ابزارها، جنبه‌های تحقیقی بی‌شماری در زمینة طراحی، بهینه‌سازی و افزایش دقت این سیستم‌ها در برابر محققان وجود خواهد داشت. در این مقاله سعی شده است برخی از این جنبه‌ها به‌همراه گزارشی از کارهای انجام‌شده روی آنها مطرح شود. [i]. MEMS

Upgrade to premium to download articles

Already have an account?login

similar resources

بررسی وارزیابی عملکرد سیستمهای آبیاری میکرو درسطح استان سمنان

در شرایط آب و هوایی ایران عمده ترین سد راه افزایش تولید ،محدودیت منابع آب می باشد چرا که قسمت عمده آب استحصالی در بخش کشاورزی مصرف شده و از طرف دیگر راندمان مصرف آب نیز در این بخش حدوداً 30 تا 35 درصد میباشد. از این رو استفاده بهینه از منابع آب به عنوان محور اصلی توسعه بایستی مورد توجه قرار گیرد. قابلیت گسترش سطح زیرکشت تا بیش از سه برابر سطح کنونی در صورت تأمین آب،اهمیت موضوع را دو چندان میکند....

full text

بررسی وارزیابی عملکرد سیستمهای آبیاری میکرو درسطح استان سمنان

full text

بررسی تاثیر ضخامت و فشار در دیافراگم های میکرو الکترو مکانیکی در میزان جابجائی در کاربردهای پزشکی

در این مقاله، تاثیر پارامترهای طراحی در دیافراگم بر روی حساسیت میکروفن به منظور استفاده در کاربردهای پزشکی قابل کاشت ارائه گردیده است. پارامترهای متفاوتی از دیافراگم همچون شکل، ابعاد، ضخامت و فشارهای اعمالی مختلف بر روی دیافراگم در نظر گرفته شده‌است. تاثیر تغییرات در این پارامترها بر روی میزان جابجائی و استرس در انواع شکل دیافراگم ها‌ مورد بحث و بررسی واقع شده است. به منظور طراحی بهینه، انواع ش...

full text